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產品名稱：
Luxtron熒光光纖測溫儀
描述：m920 Luxtron熒光光纖測溫儀包括四通道 m924 和兩通道 m922 半導體模塊，設計用于蝕刻機和晶圓廠設備對靜電卡盤，真空腔室和其他設備的溫度進行監(jiān)控。訪問次數(shù)： 4042更新時間： 2025-04-09
產品介紹
詳細說明
2 通道或 4 通道可選
模塊，探頭、通道可靈活組合
可靠的設計- 已安裝上萬套 Luxtron 系統(tǒng)
可為 OEM 應用訂制探頭
探頭適用于所有電磁干擾環(huán)境：等離子體、射頻、微波、磁性、高壓
可選配金屬外殼
基于現(xiàn)場可靠性驗證和豐富的技術應用支撐的新型高性能光纖熒光溫度傳感解決方案
LumaSense 擁有超過40年的將光纖溫度解決方案集成到具有挑戰(zhàn)性的應用中的經驗. 已經安裝了數(shù)千個具有可靠性能的 Luxtron OEM 模塊.
靈活的探頭混搭設計
m920 系列模塊和 LumaSense 探頭相互之間可以任意匹配。 任何 m920 系列模塊都可以與任何通道上的任何探頭一起使用，而無需校準. m920 系列內置了與LumaSense 探頭匹配的校準表，可進行高精度測量.
輕松集成到OEM設備
m920 系列包含兩塊線路板。主板包含光纖熒光測溫度通道，數(shù)字輸出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和電源連接. 模擬輸出線路板安裝在主板上方，提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 輸出. 用戶可根據(jù)實際情況選配保護外殼.
Luxtron熒光光纖測溫儀m920系列主板解調來自 Fluoroptic® 探頭的測量信號并將校準后的溫度報告給 OEM 控制系統(tǒng). 非金屬探頭通過堅固的光纖與主板連接，可在惡劣環(huán)境下應用.
向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模塊, Luxtron 熒光探頭
m920 OEM 系統(tǒng)適用于當前所有的 Luxtron® 品牌的熒光探頭和光纖延長線. Luxtron® 品牌擁有超過25年的經驗并在范圍內安裝了上萬套系統(tǒng)，是光纖溫度測量值得信賴的來源. 此外，m920 系列用戶界面命令與 m822 和 m600 系列 OEM 模塊基本相同.
典型應用
等離子刻蝕機卡盤溫度監(jiān)控
Shower Head溫度監(jiān)控
真空腔體溫度監(jiān)控
其他晶圓設備溫度監(jiān)控
使用RF和等離子的半導體和FPD處理
Luxtron熒光光纖測溫儀技術參數(shù) | |
| 通道數(shù) | m922: 2 m924: 4 |
| 采樣率 | 每個通道高達 50 Hz |
| 溫度范圍 | -100 ... 330 °C (取決于探頭) |
| 精度 (取決于探頭) | ±0.05 °C |
| 溫度分辨率 | 0.01°C |
| 工作溫度 | -40 °C ... 85 °C |
| 模擬輸出 | 0-10 V or 4-20 mA |
| 串口通訊 | RS-232 and RS-485 |
| 協(xié)議 | ASCII 和 Modbus (RS-485) |
| 輸入電壓 | 額定+5 … 24VDC @ 100 mA |
| 尺寸 (主板) | 23.7 mm (H) x 100.6 mm (W) x 134.4 mm (L) |
| 選配件 | 用于電磁屏蔽的金屬外殼 |
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